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(Februar 2021) Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten in Reinräumen müssen besonderen Anforderungen genügen. Es muss sichergestellt werden, dass durch sie keine unzulässigen Verunreinigungen in den Raum eingebracht oder in ihm erzeugt werden – weder bei ihrer Inbetriebnahme, noch über ihre restliche Nutzungsdauer im Reinraum. Weiterlesen 