(Februar 2021) Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten in Reinräumen müssen besonderen Anforderungen genügen. Es muss sichergestellt werden, dass durch sie keine unzulässigen Verunreinigungen in den Raum eingebracht oder in ihm erzeugt werden – weder bei ihrer Inbetriebnahme, noch über ihre restliche Nutzungsdauer im Reinraum.
Die überarbeitete VDI 2083 Blatt 9.1 gibt Hinweise zur Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln und raumlufttechnischen Komponenten – von der Planung bis zum Nachweis. Somit hilft sie bei der Erreichung einer spezifizierten Produktqualität. Die Richtlinie bietet eine standardisierte Vorgehensweise zur Qualifizierung von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten für reinheitstechnische Bereiche.
Dabei ist es sinnvoll, die Reinheitstauglichkeit von Komponenten bereits in der Konzeption der reinen Bereiche zu berücksichtigen, da ein späterer Austausch oft mit erheblichem Aufwand und entsprechenden Kosten und Störungen im Arbeitsablauf verbunden ist. Die Beurteilung der Reinheitstauglichkeit ist ein ganzheitlicher und in Teilen produktspezifischer Prüfvorgang. Es ist notwendig, die Zielsetzungen der Prüfung festzulegen, das heißt, die erforderlichen Betriebsparameter des Prüfobjekts mit den spezifischen Arbeitsschritten, an denen Emissionen und Verunreinigungen entstehen können. Ferner sind für ein valides Testergebnis die Umgebungsbedingungen zu beachten, und nicht zuletzt die verfügbare Messtechnik selbst.
Die Richtlinie benennt die Grundlagen, Schritte und Parameter der Reinheitstauglichkeit, der partikulären Oberflächenreinheit und deren Kontrolle.
Herausgeber von „Reinraumtechnik – Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit“ ist die VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG). Die Richtlinie erscheint im Januar 2021 als Weißdruck und ersetzt die Ausgabe von Dezember 2006. VDI-Mitglieder erhalten 10 Prozent Preisvorteil auf alle VDI-Richtlinien. Zudem können die Richtlinien in vielen öffentlichen Auslegestellen kostenfrei eingesehen werden.
Quelle Text: VDI
Quelle Bild: Thomas Wollstein / VDI